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  • 진공펌프 (확산, 로터리, 부스터, 터보,드라이, 크라이오)
  • 전원 장치
  • 리니어 이온소스
  • 진공 컨트롤러
  • 칠러
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  • 크라이오 쿨러
  • RF 이온소스
  • 스퍼터링 소스 (평판타입, 실린더 타입)